弹性反冲分析（ERD），又称弹性反冲探测分析（ERDA），是一种利用弹性反冲法分析固体近表面轻元素深度分布的方法，对轻元素测定具有高灵敏度和深度信息优势 。1983年已有该方法分析薄膜氢含量的报道 。在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了弹性反冲探测分析系统 。
该方法在1980年代初期开始应用于薄膜氢含量分析 ，并用于分析薄膜中的氘、氚浓度以及轻元素。2001年建立了高分辨弹性反冲探测分析系统 。该方法还应用于材料氦行为研究，利用掠入射和透射模式解析氦原子浓度分布。至2024年，通过透射模式将氦原子分析深度范围扩展至近微米级 。
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