
MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的缩写,中文名称是微机电系统。
MEMS芯片简而言之,就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统,再形象一点说就是做一个微米纳米级的机械系统,这个机械系统可以把外界的物理、化学信号转换成电信号。
这类芯片做出来最常用的是承担传感功能。

MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的缩写,中文名称是微机电系统。
MEMS芯片简而言之,就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统,再形象一点说就是做一个微米纳米级的机械系统,这个机械系统可以把外界的物理、化学信号转换成电信号。
这类芯片做出来最常用的是承担传感功能。