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微波等离子体CVD系统

时间:2026-10-12 06:53:00 浏览:985次

微波等离子体CVD系统

微波等离子体CVD系统是一种用于化学、材料科学、冶金工程技术、物理学领域的工艺试验仪器,于2001年6月14日启用。

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标签:微波等离子体CVD系统,CVD,等离子体,微波

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