曝光时间(半导体光刻工艺中用于控制曝光剂量的关键参数)

曝光时间(半导体光刻工艺中用于控制曝光剂量的关键参数)

为了提高芯片制造中版图图形的的尺寸精度,在每个曝光图形处,都会按照曝光尺寸使曝光时间相应有所变化 。

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